光刻 ：STEPPER
確定到PSS工藝對線寬的追求，傳統報光機圖片長寬比和掩膜板長寬比一比一，近幾年并不能能夠滿足PSS線寬gps精度的追求，共有NIKON STEPPER為５:１的伺服電機電機控制投射儀光刻機。某一天下世界國家PSS產業豐富用到，IC舊NIKON伺服電機電機控制投射儀光刻機已是為PSS工藝的原則系統配置。
勻膠顯影設備
實現迅速手動旋轉的方法使膠滴（定影液）不光滑涂裝在基片上。并實現手動化焊接機器人將基片傳播到熱板上不光滑烘干辦理，接下來在冷板上升溫。全工作手動化的從片盒到片盒左右辦理。
MALN BODY
TRANSFER ROBOT
SPIN UNIT
MULTI-STAGE OVEN
